산업용 웨이퍼 가열기 공장
고성능 적외선 웨이퍼 히터: 실제로 효과적인 반도체 솔루션
만약 여러분이 제조 공장을 운영한다면, 어떤 문제들이 있는지 잘 알고 있을 것입니다. 신뢰할 수 있는 장비가 필요하지만, 유명 브랜드의 국제적인 히터들은 너무 비쌉니다.
그래서 저희는 다른 방식을 고안해냈습니...
웨이퍼용 맞춤형 적외선 히터
웨이퍼 가공 과정에서 2°C 정도의 온도 변동은 단순한 오차가 아니라, 그로 인해 웨이퍼가 폐기되는 결과를 초래합니다. 포토레지스트의 민감도, 선의 굵기, 결함 수준 등은 모두 일관적이고 균일한 열 처리에 달려 있습니다. 열 프로파일에 변동이 생기면 웨이퍼 표면에 이...