LPCVD 용광로 가열 소자

생산 현장에서 LPCVD 용광로의 열 드리프트는 갑작스러운 고장으로 나타나지 않습니다. 대신, 증착 프로파일이 비정상적으로 되거나, 리소그래피 과정 이후에 회로선의 폭이 넓어지는 현상이 나타나며, 최종 단계에서는 아무런 예고 없이 불량품이 발생합니다. 우리는 열 관리...