MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

폭발을 막는 방법: MEMS 웨이퍼를 안전하게 건조시키는 방법 현실적으로 말하자면, 화학적 세척 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조하는 것은 마치 불장난과 같습니다. 가열 요소가 용매 증기와 바로 인접해 있으며, 그 용매 증기는 말 그대로 폭발성이 있습니다. 그러니 일반...