팹 램프용 석영 유리 쉴드
리소그래피 라인에서는, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 램프의 온도가 단 0.5°C만 변동해도 회로선의 굵기가 규격에서 벗어날 수 있습니다. 그렇게 되면 해당 웨이퍼들은 검사 과정에서 문제 있는 것으로 분류됩니다. 우리는 이러한 온도 변동을 막기 위해 램프 주위에 석...
쿼츠 보트 히팅 램프 제작
24/7 팹 플로어에서의 중요성 0.5°C의 오차가 없는 것처럼 행동할 수는 없다. 소프트 베이크 또는 하드 베이크가 0.5°C만 틀리더라도 CD를 이동시키고, 기반을 제공하며 많은 웨이퍼를 폐기물로 만들 수 있다. 석영 보트 가열 램프는 부가 장치가 아니다. 그것들...