웨이퍼 오븐용 SK15 적외선 램프

리소그래피 공정에서는, 단 2°C만큼의 온도 변화라도 CD의 균일성에 영향을 줄 수 있으며, 그로 인해 웨이퍼가 재가공되어야 합니다. 따라서 공정이 진행될 동안 일정한 온도가 유지되어야 합니다. 웨이퍼 오븐용 SK15 적외선 램프는 바로 이러한 목적을 위해 설계된 것...