Mengelakkan Keadaan Daripada Menjadi Serius: Mengeringkan Wafer MEMS dengan Selamat
Realitinya, proses pengeringan wafer sensor MEMS setelah dibersihkan menggunakan bahan kimia ibarat bermain dengan api. Terdapat unsur pemanasan yang berada sangat dekat dengan wap pelarut yang bersifat mudah meletup. Anda tidak boleh sekadar menggunakan lampu inframerah biasa dalam suasana seperti ini, kerana ia boleh menyebabkan bencana.
Itulah sebabnya kami memberi tumpuan kepada proses pengasingan cahaya tersebut. Kami membina lapisan pelindung di sekeliling lampu tersebut agar ia tidak dapat mencetuskan masalah.
Menghalang Kebocoran
Untuk mengelakkan gas berbahaya daripada sampai ke terminal elektrik, kami memasukkan lampu inframerah ke dalam sarung yang diperbuat daripada kaca khas atau kuarsa yang tahan terhadap bahan kimia. Ini merupakan lapisan pelindung fizikal yang efektif. Kemudian, kami menutup hujung lampu tersebut menggunakan bahan pengedap jenis seramik atau epoksi bertekanan tinggi. Mengapa perlu melakukan semua ini? Kerana jika pengedap tersebut rosak, wap pelarut akan tersentuh pada terminal elektrik. Satu percikan sahaja sudah cukup untuk mencipta situasi yang buruk. Kami menghabiskan masa yang banyak untuk memastikan tiada kebocoran berlaku.
Haba, Percikan Api, dan Kabel
Kami menggunakan teknologi inframerah gelombang pendek kerana ia lebih efektif. Teknologi ini memindahkan haba secara langsung ke permukaan wafer, bukannya hanya memanaskan udara di sekelilingnya. Dengan cara ini, suhu persekitaran akan tetap rendah, jauh di bawah titik nyala bahan kimia yang digunakan untuk pembersihan.
Kami juga tidak menggunakan kabel biasa. Kami menggunakan kabel yang diperbuat daripada PTFE atau PFA. Kabel PVC biasa akan cair atau rosak, sehingga kabel menjadi terdedah. Itu bukanlah pilihan yang baik.
Satu tip penting: pastikan sistem pengudaraan berfungsi dengan baik. Walaupun dengan lapisan pelindung yang sempurna, adanya kawasan yang tertumpuk pelarut masih merupakan risiko yang besar. Pastikan udara beredar dengan lancar.
Menjaga Kesinambungan Operasi
Kelebihan utama lapisan pelindung ini ialah ia melindungi filamen lampu daripada kesan kimia. Ini bermakna lampu tersebut akan bertahan lebih lama. Kami juga menggunakan sambungan yang kukuh, kerana sistem pengangkutan wafer sering bergetar, dan kami tidak mahu komponen-komponen tersebut terlepas.
Komponen-komponen ini direka agar mudah diganti. Namun, anda perlu memeriksa integriti pengedap setiap kali menukar unit tersebut. Jika ada retakan pada lapisan pelindung tersebut, tahap keselamatan akan terjejas.
Kami juga perlu berhati-hati dengan kuasa yang digunakan. Kuasa yang tinggi akan mempercepatkan proses pengeringan, tetapi ia juga akan memberi tekanan yang lebih besar pada pengedap. Kami menyeimbangkan kuasa tersebut agar pengedap tidak rosak akibat panas. Semuanya bergantung pada mencari keseimbangan antara kelajuan dan keselamatan.