Di bilik litografi, anda tahu bahawa perubahan suhu sebanyak 2°C sahaja sudah cukup untuk mengganggu keseimbangan suhu pada cakera silikon tersebut, sehingga memerlukan proses pembuatan semula cakera tersebut. Oleh itu, diperlukan suhu yang tetap dalam julat yang ditetapkan, dari satu kitaran ke kitaran yang lain. Lampu inframerah SK15 direka khusus untuk tujuan ini.
Apa yang penting di sebaliknya
SK15 menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek yang mampu menyalurkan tenaga secara langsung ke lapisan fotoresist dan cakera silikon. Responsnya berlaku dalam masa milisaat, jadi suhu oven dapat dicapai dengan cepat, dan kestabilannya dapat dikekalkan pada tahap ±0.1°C untuk setiap kumpulan cakera silikon yang diproses. Keserasian dengan persekitaran bilik bersih juga merupakan faktor penting; bahan-bahan yang digunakan mematuhi piawaian kelas 1–100, tiada zarah terhasil semasa beroperasi, dan prestasi lampu kekal stabil walaupun selepas 5,000 jam penggunaan, dengan perbezaan intensiti kurang dari 5%. Ketumpatan tenaga lampu disesuaikan dengan keperluan oven, dan saiz lampu pula sesuai untuk dipasang dalam sistem elektrik biasa.
Mengapa ia efektif dalam proses pengeluaran
Proses pengeringan cakera silikon, pemrosesan fotoresist, dan proses pemanasan memerlukan kawalan suhu yang tepat. SK15 membantu mengurangkan perbezaan suhu antara bahagian tepi dan tengah cakera silikon, sekali gus meningkatkan kadar kelulusan produk. Proses pemanasan berlaku lebih cepat, jadi masa yang diperlukan untuk setiap kitaran berkurangan tanpa mengorbankan kawalan suhu. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana tenaga dialirkan ke tempat yang sepatutnya, bukannya memanaskan seluruh ruang oven. Hasilnya, kawalan dimensi kritikal menjadi lebih baik, jumlah bahan buangan berkurangan, dan jarak penyelenggaraan boleh dirancang dengan lebih baik.
Perkara yang perlu diberi perhatian
SK15 memerlukan geometri reflektor yang sesuai serta voltan bekalan yang bersih dan kering. Jika aliran udara dalam oven atau sistem maklum balas suhu tidak diselaraskan dengan baik, ia boleh menyebabkan masalah suhu yang tidak terkawal. Lakukan kalibrasi pada waktu penyelenggaraan awal, dan pastikan pengawal oven mampu menguruskan ciri-ciri lampu tersebut. Dengan syarat-syarat ini dipenuhi, lampu SK15 akan berfungsi dengan baik secara konsisten.