Bij neonborden is er geen sprake van thermische afwijkingen. De warmtebeheersing blijft echter beperkt, waardoor de controle over de dikte van het materiaal niet meer mogelijk is. Hierdoor wordt een proces dat stabiel zou moeten zijn, onvoorspelbaar. In de lithografie- en verpakkingsindustrie wordt de thermische beheersing bepaald door de ‘soft bake’- en ‘hard bake’-procedures. Als de verwarmingselementen niet goed functioneren, heeft dat gevolgen voor de kwaliteit van het product: oneffenheden in de oppervlakte, ongewenste deeltjes en extra bewerkingen zijn de gevolgen.
In het ontwerp richten we ons op strikte thermische beheersing: een uniformiteit van ±0,1°C over het hele oppervlak van de chip, snel herstel nadat de deuren worden geopend en gesloten, en herhaalbare resultaten. Het verwarmingselement is speciaal ontworpen voor gebruik in schone ruimtes, compatibel met omgevingen van klasse 1–100. Het moet zorgen voor een constante temperatuur, zodat dezelfde resultaten worden behaald in elke batch. De stroomtoevoer wordt aangepast aan het gewicht van de kamer, zodat er geen ongewenste temperaturen ontstaan. De geometrie van het element zorgt er ook voor dat er geen warmtepunten ontstaan in de buurt van de deuren en hoeken.
Op de werkplek is dit belangrijk, want het verwerken van fotoresist vereist nauwkeurige controle. Een consistente ‘soft bake’-procedure zorgt voor een goede verdamping van oplosmiddelen en een stabiele filmstructuur. Een ‘hard bake’-procedure zorgt voor een goede hechting en weerstand tegen etching. Als het verwarmingselement de ingestelde temperatuur behoudt, krijg je een consistente dikte van het materiaal, minder defecten en minder afval. Dit leidt tot een hogere kwaliteit van het eindproduct en minder behoefte aan herwerkingsprocessen. We verminderen ook het energieverbruik door onnodige schommelingen te voorkomen en de overgang van ruststand naar werking soepeler te maken. De betrouwbaarheid van het systeem is bewezen door 24/7 gebruik met minimale afwijkingen in de temperatuur.
Bij de installatie moet de spanning, type connector en thermische massa van de ovencontroller overeenkomen met die van het verwarmingselement. Onjuiste aansluitingen leiden tot lokale oververhitting en verkorten de levensduur van het element. Plan de luchtcirculatie goed, zodat er geen warmtepunten ontstaan rondom de randen van het element. Onthoud ook dat, hoewel het element geschikt is voor gebruik in schone ruimtes, de chemische omgeving in de oven nog steeds belangrijk is. Houd de oppervlakken van de kamer vrij van restanten die kunnen loskomen en deeltjes op de chips kunnen veroorzaken.