Pare de desperdiçar energia nas paredes da câmara de processamento
Se você está aquecendo wafers de silício, sabe que cada watt desperdiçado é, na verdade, um dinheiro jogado fora.
As lâmpadas de quartzo convencionais são um pouco ineficientes. Elas emitem calor em todas as direções, o que significa que uma grande parte da energia gasta é usada apenas para aquecer as paredes da câmara, em vez de aquecer efetivamente o substrato. Isso é ineficiente.
É por isso que utilizamos tubos duplos revestidos com ouro.
A magia do revestimento de ouro
Colocamos uma fina camada de ouro na parte traseira do quartzo. Por que ouro? Porque, no que diz respeito à luz infravermelha, o ouro é melhor que prata ou alumínio. Pense nele como um espelho térmico: em vez de o calor ser disperso em 360 graus, o ouro direciona todo o calor para a frente. Assim, você obtém um feixe concentrado de calor que atinge o wafer, sem precisar aumentar a corrente elétrica. É pura física inteligente.
Dois tubos = mais eficiência
A vantagem dos tubos duplos é que eles permitem concentrar muito mais watts em um espaço menor. O resultado é um perfil de calor muito mais eficiente. Geralmente, esses dispositivos são usados em ambientes de alta tensão, para evitar que a corrente elétrica fique excessiva. Mas tenha cuidado: certifique-se de que suas fontes de alimentação conseguem suportar as correntes iniciais quando você ligar o dispositivo pela primeira vez.
Como fazê-los funcionar no seu setup
O melhor é que esses dispositivos podem ser instalados diretamente nos slots existentes no seu arranjo de IR. Não há necessidade de reconstruir todo o sistema.
Mas há um detalhe importante: como o revestimento de ouro é tão eficaz em direcionar a energia, o “lado frio” da lâmpada permanece frio, enquanto o wafer fica muito quente. Você precisará ajustar os controladores PID. Caso contrário, é provável que a temperatura alcance valores acima do desejado. Além disso, verifique se os ventiladores de refrigeração são capazes de lidar com essa intensidade de calor. Caso contrário, seus equipamentos podem acabar danificados. Um pouco de calibração faz toda a diferença.