Прекратите терять время: почему инфракрасное нагревание лучше, чем использование обычного воздуха для обработки полупроводниковых пластин
Если вы по-прежнему используете систему циркуляции горячего воздуха для обработки полупроводников, то на самом деле вы просто тратите время впустую, ожидая, пока воздух выполнит свою функцию.
Подумайте об этом. При использовании обычного воздуха сначала необходимо нагреть воздух, а затем передать его тепло на поверхность пластины. Это сложный процесс, который отнимает много времени.
Инфракрасное нагревание исключает этот промежуточный этап. Оно использует электромагнитное излучение для непосредственного нагрева поверхности пластины. Никакого ожидания, никаких задержек — только тепло.
Настоящее преимущество заключается в скорости.
В конвекционной печи приходится бороться с тепловой массой воздуха. Этот процесс медленный: требуется много времени, чтобы нагреть или охладить пластину. Инфракрасные лампы, напротив, нагревают поверхность пластины мгновенно.
Речь идет о достижении желаемой температуры за секунды, а не минуты. Если учесть это для каждой партии продукции, получится значительная экономия времени.
Но есть одна проблема: расстояние между источником инфракрасного излучения и поверхностью пластины. Если расстояние слишком мало, возникают точки с повышенной температурой; если слишком велико — теряется быстрый нагрев, что делает использование инфракрасного нагревания бессмысленным.
Я советую обращать внимание на длину волны. Коротковолновое излучение проникает глубже в материал, а средневолновое — идеально подходит, если нужно лишь нагреть поверхность.
Но это не волшебство. Инфракрасное излучение может быть неоднородным. Если на пластине есть разные материалы или разная толщина, будет наблюдаться колебание температуры.
Чтобы избежать проблем, необходим контроллер PID и термопары с быстрой реакцией. Без них есть риск превышения заданной температуры. И еще один совет: убедитесь, что ваша система охлаждения способна справляться с быстрым отводом тепла, иначе температура в камере может резко повыситься.