ในกระบวนการลิโธกราฟีและการประมวลผลฟอโตรีซิสต์นั้น ความชื้นที่มีอยู่ในฟอโตรีซิสต์หรือโอกไซด์บนแผ่นวีเวอร์ไม่ใช่เรื่องเล็กน้อยเลย ความชื้นเหล่านี้จะส่งผลกระทบต่ออุณหภูมิที่ใช้ในการประมวลผล ทำให้ปริมาณแสงที่ใช้ในการประมวลผลเปลี่ยนแปลงไป และยังทำให้ขนาดสำคัญของวัสดุเปลี่ยนแปลงไปด้วย หากหลอดไฟที่ใช้ในการให้ความร้อนไม่สามารถรักษาอุณหภูมิและความสะอาดได้ ความผันผวนเหล่านี้ก็จะยังคงอยู่ต่อไป และส่งผลต่อแผ่นวีเวอร์ในขั้นตอนการบรรจุผลิตภัณฑ์
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
เราออกแบบหลอดไฟสำหรับกำจัดความชื้นบนแผ่นวีเวอร์โดยใช้หลอดไฟอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นที่อยู่ภายในฉนวนควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ทำให้สามารถให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็วและมีการควบคุมสเปกตรัมได้อย่างดี อุณหภูมิในบริเวณที่ได้รับแสงจะอยู่ในช่วง ±0.1°C และความสามารถในการทำซ้ำจะอยู่ในช่วง ±0.5°C ในการทำงานหลายพันครั้ง ระบบนี้สามารถทำงานได้ในห้องที่มีความสะอาดระดับ Class 1–100 และเรายังมีการตรวจสอบเพื่อให้มั่นใจว่าไม่มีฝุ่นหรืออนุภาคใดๆ เกิดขึ้น กำลังไฟที่ได้จะคงที่ตลอดเวลา โดยมีการเปลี่ยนแปลงของกำลังไฟน้อยกว่า 5% ในการทำงานต่อเนื่องเป็นเวลา 5,000 ชั่วโมง
สิ่งที่สำคัญคือ ในกระบวนการลิโธกราฟีและการประมวลผลฟอโตรีซิสต์นั้น หลอดไฟจะสัมผัสกับความชื้นก่อนขั้นตอนการให้ความร้อน ซึ่งจะช่วยลดผลกระทบจากปรากฏการณ์ “สกิน-เอฟเฟกต์” และทำให้การหลอมละลายของฟอโตรีซิสต์เป็นไปอย่างสม่ำเสมอ
ผลลัพธ์ที่ได้คือ ความหนาแน่นของข้อบกพร่องลดลง การควบคุมขนาดของวัสดุก็ดีขึ้น และไม่จำเป็นต้องทำการปรับแก้วัสดุซ้ำๆ อีก นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะหลอดไฟจะให้ความร้อนกับวัสดุโดยตรง ไม่ใช่กับผนังของห้อง ระยะเวลาการเปลี่ยนหลอดไฟก็ยาวนานขึ้น เนื่องจากการออกแบบของไส้หลอดไฟและการควบคุมแรงดันความร้อน ซึ่งช่วยลดความจำเป็นในการสำรองหลอดไฟไว้ และลดเวลาในการบำรุงรักษาด้วย
การติดตั้งหลอดไฟนั้น สิ่งสำคัญคือการปรับองศาการจ้องของหลอดไฟให้ถูกต้อง และต้องรักษาความสะอาดของโพลิเมอร์และอุปกรณ์อื่นๆ ให้อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด
หลอดไฟจะทำงานได้ดีก็ต่อเมื่อพื้นผิวของวัสดุอยู่ในระนาบเดียวกับหลอดไฟ หากพื้นผิวไม่อยู่ในระนาบเดียวกัน ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็จะลดลง ควรตรวจสอบให้แน่ใจว่าตัวควบคุมอุณหภูมิสามารถปรับอุณหภูมิได้อย่างถูกต้อง และต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าสายไฟและตัวเชื่อมต่อมีค่าแรงดันและกระแสไฟที่เหมาะสมกับอุปกรณ์ของคุณ ควรมีการตรวจสอบควอตซ์เป็นประจำเพื่อป้องกันไม่ให้มีการสะสมของฝุ่น และเพื่อให้กำลังไฟที่ได้มีความสม่ำเสมออยู่เสมอ