Giữ cho phòng sạch loại Class 100 luôn sạch sẽ
Nếu bạn đang vận hành một phòng sạch loại Class 100, bạn chắc hẳn đã biết rõ những khó khăn liên quan đến việc duy trì môi trường sạch trong phòng này. Chỉ cần có một hạt bụi nhỏ ở vị trí không đúng, toàn bộ lô sản phẩm bán dẫn của bạn sẽ bị hỏng. Vấn đề là hầu hết các linh kiện tạo nhiệt đều tạo ra bụi – chúng giải phóng ra những hạt bụi siêu nhỏ ngay khi được làm nóng.
Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng sự kết hợp giữa đèn hồng ngoại bằng thạch anh và dây điện được phủ lớp Teflon (PTFE).
Ưu điểm của thạch anh có độ tinh khiết cao
Chúng tôi sử dụng thạch anh để làm vỏ đèn. Tại sao vậy? Bởi vì thạch anh có khả năng chịu được mức nhiệt cao mà không bị biến dạng, đồng thời không giải phóng chất gây ô nhiễm vào không khí. Những chiếc đèn này sử dụng bức xạ hồng ngoại tần số thấp. Thay vì làm nóng không khí xung quanh wafer – điều này tạo ra các dòng khí đối lưu khiến bụi bay lên – năng lượng từ đèn sẽ được truyền trực tiếp vào chính wafer. Nhờ đó, môi trường trong phòng sạch sẽ hơn nhiều.
Tại sao chúng tôi lại chọn dây điện phủ lớp PTFE
Dây điện thông thường bằng PVC hoặc silicon rất kém trong việc chịu nhiệt. Chúng có thể bị cháy hoặc giải phóng các chất hữu cơ dễ bay hơi, gây hại cho sản phẩm. Điều này hoàn toàn không thể chấp nhận được trong quy trình sản xuất bán dẫn. Vì vậy, chúng tôi sử dụng dây điện được phủ lớp Teflon (PTFE). Loại dây này có tính chất hóa học ổn định, có thể chịu được nhiệt cao mà không bị hư hỏng. Nó cũng không bị phân hủy hay tạo bụi, giúp duy trì môi trường sạch trong phòng sạch.
Một vài mẹo khi lắp đặt
Lưu ý rằng PTFE cứng hơn silicon. Nếu bạn cố gắng uốn dây thành hình vòng tròn, lớp vỏ bọc của dây sẽ bị cong. Hãy để dây có đủ không gian để co giãn. Ngoài ra, hãy chú ý đến hệ thống làm mát. Ánh sáng hồng ngoại rất mạnh. Mặc dù thạch anh có độ tinh khiết cao, nhưng dòng nhiệt tạo ra vẫn rất lớn. Hãy đảm bảo rằng các bộ phận làm mát có kích thước phù hợp. Nếu chúng quá nhỏ, các braket treo đèn có thể bị biến dạng. Tệ hơn nữa, các đèn có thể bị hỏng sớm do khả năng chịu nhiệt kém của các lớp kín ở hai đầu dây.