Hãy ngừng chờ đợi nữa: Tại sao việc sử dụng công nghệ sưởi bằng tia hồng ngoại là giải pháp tốt nhất trong quy trình gia công bán dẫn
Hãy thừa nhận rằng việc sử dụng không khí nóng để sưởi là một phương pháp kém hiệu quả. Quá trình này diễn ra rất chậm; bạn phải chờ cho đến khi không khí nóng lên, rồi mới có thể sưởi ấm được vật liệu cần xử lý. Trong ngành gia công bán dẫn, những phút giây bị lãng phí này không chỉ gây phiền toái mà còn khiến bạn mất đi một khoản tiền đáng kể.
Chúng tôi quyết định ngừng việc sưởi không khí và chuyển sang sử dụng phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại. Đó chính là lý do tại sao chúng tôi sử dụng các bộ phản xạ bằng nhôm chất lượng cao.
Bí mật nằm ở bộ phản xạ
Nếu chỉ sử dụng đèn hồng ngoại thông thường, bạn sẽ lãng phí một nửa năng lượng. Ánh sáng tỏa ra theo mọi hướng, vì vậy một lượng lớn năng lượng bị lãng phí và không tác động được lên vật liệu cần xử lý.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng các bộ phản xạ bằng nhôm chất lượng cao. Chúng hoạt động như những chiếc gương, giúp thu hồi lại lượng năng lượng bị lãng phí và đưa nó trở lại vật liệu cần xử lý.
Nhờ khả năng xử lý tia hồng ngoại tốt của nhôm, chúng ta có thể tập trung năng lượng vào vật liệu cần xử lý. Kết quả là vật liệu đó sẽ đạt được nhiệt độ mong muốn trong vài giây thôi – chứ không phải vài phút.
Loại bỏ các yếu tố trung gian
Các hệ thống sưởi bằng không khí nóng có nhược điểm là có “độ trễ nhiệt” khá lớn. Bạn phải sưởi toàn bộ buồng xử lý trước, sau đó mới sưởi không khí, và cuối cùng mới sưởi vật liệu cần xử lý. Đó là một quy trình phức tạp.
Với công nghệ sưởi bằng tia hồng ngoại, chúng ta có thể bỏ qua tất cả những bước này. Nhờ sử dụng bộ phản xạ, chúng ta có thể truyền trực tiếp lượng năng lượng lớn nhất vào vật liệu cần xử lý.
Ngoài ra, thiết bị của bạn cũng trở nên đơn giản hơn nhiều. Bạn không cần phải sử dụng các máy thổi khí lớn hay các ống dẫn cách nhiệt cồng kềnh nữa. Tất cả những gì bạn cần chỉ là đèn hồng ngoại, bộ phản xạ, và một bộ điều khiển PID để duy trì nhiệt độ ổn định.
Những hạn chế và cách khắc phục
Tuy nhiên, cũng có một số hạn chế. Khi nhiệt độ quá cao, bạn cần phải chú ý đến các điểm nóng có thể xuất hiện. Nếu bộ phản xạ không được căn chỉnh chính xác, hoặc vật liệu quá gần đèn, vật liệu có thể bị cháy. Điều này xảy ra rất nhanh. Bạn cũng cần một hệ thống làm mát để kiểm soát sự thay đổi nhiệt độ nhanh chóng, nhằm tránh việc vật liệu bị biến dạng.
Bí quyết nằm ở việc căn chỉnh chính xác khoảng cách giữa đèn và vật liệu cần xử lý. Nếu làm được điều này, mọi thứ sẽ diễn ra suôn sẻ.