Hãy ngừng việc làm nóng toàn bộ máy móc, và thay vào đó hãy tập trung nhiệt lượng vào việc làm nóng wafer. Hầu hết các bóng đèn hồng ngoại đều phát ra nhiệt lượng theo mọi hướng – tức là 360 độ. Khi làm việc trong các thiết bị chế tạo bán dẫn có không gian chật hẹp, điều này thật sự là một cơn ác mộng. Bạn sẽ lãng phí rất nhiều năng lượng để làm nóng các bức tường bên trong máy, thay vì làm nóng wafer. Kết quả là, vỏ máy trở nên quá nóng đến mức không thể chạm vào được, và hệ thống làm mát cũng hoạt động kém hiệu quả.
Chúng tôi đã tìm ra cách tốt hơn: công nghệ hồng ngoại có khả năng kiểm soát hướng phát nhiệt. Hãy tưởng tượng đó như sự khác biệt giữa bóng đèn thông thường và đèn pin. Thay vì để nhiệt lan tỏa khắp nơi, chúng tôi sử dụng các tấm phản xạ bên trong và các lớp phủ đặc biệt để tập trung nhiệt lượng vào một điểm cụ thể. Như vậy, bạn sẽ không cần phải làm nóng không khí nữa; nhiệt lượng sẽ được tập trung vào vật liệu cần xử lý. Điều này giúp việc xử lý trở nên hiệu quả hơn nhiều.
Xử lý vấn đề về nước
Các khu vực rửa vật liệu chắc chắn sẽ ẩm ướt. Nước và điện là hai thứ không thể tồn tại cùng nhau. Nếu ống thủy tinh thông thường bị dính nước, nó sẽ bị hỏng ngay lập tức. Để khắc phục điều này, chúng tôi đã thiết kế các bóng đèn với các lớp chống thấm chất lượng cao. Những lớp chống thấm này giúp ngăn nước tiếp xúc với các điện cực, đồng thời giúp bóng đèn hoạt động ổn định dù phải chịu tình trạng làm nóng và làm lạnh liên tục.
Kiểm soát mức độ phủ nhiệt
Điều quan trọng cần lưu ý là: độ chính xác luôn đi kèm với những hy sinh nhất định. Vì các bóng đèn này tập trung nhiệt lượng vào một điểm cụ thể, nên bạn sẽ không có được mức độ phủ nhiệt rộng như khi sử dụng ống thủy tinh thông thường. Nếu quy trình của bạn yêu cầu mức độ phủ nhiệt rộng, bạn không thể chỉ thay thế một bóng đèn bằng bóng đèn khác là xong. Bạn cần sử dụng nhiều bóng đèn cùng lúc để đạt được mức độ phủ nhiệt mong muốn.
Giữ cho máy móc mát mẻ và an toàn
Khi bạn ngừng việc biến máy móc thành “lò nướng”, mọi thứ sẽ trở nên dễ dàng hơn. Các nhân viên vận hành sẽ không phải lo lắng về việc các bộ phận của máy bị cháy, và bạn cũng không cần phải lo lắng về việc máy phải ngắt kết nối do quá nóng. Bạn vẫn có thể sử dụng đủ nhiệt lượng cần thiết để rửa vật liệu, nhưng máy móc vẫn hoạt động ổn định. Chỉ cần kết hợp chúng với bộ điều khiển PID chất lượng cao, nhiệt độ bề mặt máy sẽ được kiểm soát chính xác như bạn mong muốn.