用于半导体加热器的特氟龙电线
如何保持100级洁净室的清洁状态
如果你正在运营一个100级洁净室,那么你肯定知道其中的重要性。哪怕有一粒灰尘出现在不该出现的地方,整批半导体产品都会报废。问题在于,大多数加热元件实际上都是“尘埃制造机”——一旦变热,它们就会释放出微小的颗粒物。
我们通过使用高纯度的材料来解决这个问题:石英红外灯...
用于半导体加热器的热电偶
防止加热室变成“烤箱” 如果你曾经制造过半导体加热室,那么你一定知道其中存在的难题。其实,让晶圆达到所需温度并不是什么难事——那只是最简单的一部分。真正的麻烦在于,当设备内壁变得过于高温时,就有可能伤害人体。
大多数普通的加热元件会将热量向各个方向散射,这不仅效率低下,而且还会让昂贵设备的内部表面...
用于半导体的镀金红外灯
为何镀金红外灯对半导体晶圆加工如此重要 在处理半导体晶圆时,温度其实只是其中一个因素而已。真正的关键在于能量密度——也就是有多少热量真正作用于晶圆表面,又有多少热量被浪费掉了。
这就是镀金红外灯的作用所在。它们能够防止能量泄漏到机器的其他部分,确保能量全部集中在晶圆上。
黄金的妙用
普通石英灯会将...
半导体洁净室推车式加热器
为何我们如此重视电暖器中的电气安全问题 在半导体制造厂中,哪怕是微小的电弧或绝缘层的小漏洞,都绝非小问题——那简直就是灾难。这样的故障足以让整批芯片报废。
正因如此,我们在为洁净室设计的电暖器时,必须确保其能在“近乎完美”的环境下正常工作。由于高湿度以及化学物质的侵蚀,电流泄漏的风险始终存在。我们...
节能型半导体加热器
为何我们选择使用红外固化技术来处理无铅芯片 如果您从事过半导体材料的干燥和固化工作,那么您应该知道传统的做法是:将所有材料放入巨大的对流式烤箱中,然后等待其完全固化。不过,情况正在发生变化。随着“绿色”及无铅标准的日益普及,人们开始越来越多地采用红外技术。
这种技术的优点在于:无需对整个房间进行加...
半导体烤箱加热元件
在生产线中,霓虹灯并不会出现热漂移问题。但热漂移会悄悄影响线宽控制,降低成品率,让本应稳定的烘烤过程变得不可预测。在光刻和封装过程中,光阻的软烘烤和硬烘烤环节对温度控制要求极为严格。如果加热元件无法正常工作,就会导致CD均匀性下降、表面出现杂质,进而需要重新加工。
在设计方面,我们注重的是精确的温...