如何保持100级洁净室的清洁状态
如果你正在运营一个100级洁净室，那么你肯定知道其中的重要性。哪怕有一粒灰尘出现在不该出现的地方，整批半导体产品都会报废。问题在于，大多数加热元件实际上都是“尘埃制造机”——一旦变热，它们就会释放出微小的颗粒物。
我们通过使用高纯度的材料来解决这个问题：石英红外灯和特氟龙（PTFE）绝缘材料。
为什么选择高纯度石英
我们使用熔融石英作为灯罩的材料。因为这种材料能够承受巨大的热量而不发生变形，同时也不会向空气中释放任何杂质。
这些灯发出的是短波红外辐射。这样一来，热量不会使晶圆周围的空气升温，从而避免产生那些会扬起灰尘的对流气流。这样一来，环境就更干净了。
为什么坚持使用PTFE绝缘材料
普通的PVC或硅胶绝缘材料不耐热，它们会在高温下燃烧或释放出有害的挥发性有机化合物，这会破坏整个生产过程。在半导体生产中，这种情况绝对不可接受。
因此，我们选择使用特氟龙涂层绝缘材料。它具有化学稳定性，能承受高温而不会损坏。它不会降解，也不会产生颗粒物，从而确保洁净室内的环境始终处于无菌状态。
安装时的注意事项
请注意，PTFE的硬度比硅胶更高。如果试图将其弯成紧密的圆形，那么绝缘层就会被压坏。所以，给电缆留出足够的空间非常重要。
另外，还要注意冷却系统。红外灯发出的热量相当大。虽然石英本身是纯净的，但这种热量仍可能对设备造成损害。确保冷却系统的尺寸合适，否则安装支架可能会变形。更糟糕的是，由于端部的密封装置无法承受如此高的温度，灯光也会提前失效。