手套箱红外加热元件

在光刻车间，光刻胶软烘烤温度漂移0.5°C足以使线宽超出规格。您正在运行一条Class 1–100生产线，每个周期都取决于颗粒计数、温度均匀性和重复性。当手套箱加热器无法保持设定点时，晶圆不仅会错过目标——它们还会直接将风险带入刻蚀和沉积过程。 底层重要因素 我们使用的手套箱红外加热元件以视距方式...