电子束光刻胶烘烤加热器

在光刻车间里，电子束光刻胶烘烤过程中0.3°C的温度漂移就可能使受控图形变为线宽混乱。我们设计的电子束光刻胶烘烤加热器旨在阻止温度漂移的发生——因为良率是以纳米衡量，而非主观判断。 关键技术指标 我们采用短波红外元件，搭配基于石英的热传导路径，确保响应速度快且稳态温度稳定。烘烤表面晶圆级均匀性保持...