用于晶圆的精密红外传感器
停止在半加工过程中浪费时间来加热空气吧 说实话,用热空气来加热硅片的方式效率实在很低。实际上,你只是在等待空气来完成加热工作,而在大规模生产中,这种延迟会严重拖累整体效率。这无疑是一种巨大的时间浪费,还会影响到其他工序的进行。
我们找到了更好的方法:不用让空气循环,而是利用精准的红外传感器和发射器...
MEMS传感器晶圆干燥加热器
避免灾难发生:安全干燥MEMS晶圆 事实上,对经过化学清洗后的MEMS传感器晶圆进行干燥,简直就像在玩火一样危险。加热元件与极易爆炸的溶剂蒸汽处于同一空间内,因此不能简单地将普通红外灯放入该环境中使用。
正因如此,我们才注重采用封装技术。我们实际上是在为红外灯打造一个“防护罩”,从而避免灾难的发生...
智能传感器封装红外线
为什么我们在传感器封装过程中要放弃传统对流烤箱,转而使用红外加热技术呢?
目前,半导体制造业的大家都在谈论碳中和的问题。但说实话,如果不改变现有的生产方式,想要实现这一点其实很困难。对我们来说,最大的好处就是能够摆脱那些传统的对流烤箱,转而使用红外加热技术来处理智能传感器的封装工作。
与其加热整个...
氢气传感器制造用加热器
简介 想象一下:在那种充满易燃清洁剂的工厂环境中,使用普通加热器简直就是自找麻烦。我们设计的红外加热灯正是为了解决这个问题而推出的。其结构经过紧密密封处理,确保热源与外界环境完全隔绝。
这不仅仅是一个加热器,更是一种以安全为首要考虑的装置。它能够有效避免任何引发燃烧的风险,同时还能为传感器制造提供...
晶圆工具的温度传感器
在线上,晶圆放置在卤素灯下,等待那次软烘烤以固定光刻胶轮廓。烘烤温度窗口内2°C的偏差可能导致关键尺寸变化几纳米,而批次则带着只有显影后才显现的缺陷离开涂布机。设备不会提前警告你,它只输出一个热结果,后续工艺承担后果。
我们为晶圆设备制造温度传感器,因为光刻中的热预算不可选——它决定产率与报废的界...