LPCVD炉加热元件

在制造现场，LPCVD炉中的温度波动并不会导致设备突然故障。其表现形式是沉积层的厚度分布出现偏差，光刻后的CD值也会发生变化，此外，还会有一些废品产生，但这些问题往往不会立刻被察觉。我们设计的加热元件能够将温度控制在工艺允许的范围内，避免超出该范围。 从技术层面来看，我们的LPCVD炉加热元件能够...