在光刻生产线中，如果光敏剂烘烤过程中的温度波动仅为0.5°C，就可能导致线宽超出标准范围，这样的晶圆在检测时会被标记为不合格品。为此，我们为生产用的灯管设计了石英玻璃防护罩，以从源头阻止这种温度波动。 关键点在于材料的选择 我们选用了熔融石英作为材料，因为其在短波和中等波长红外光区域具有稳定的透光...

在光刻工序中，温度并非一个单纯的参数——它本身就是整个工艺过程的关键所在。在软烘烤过程中，即使温度变化2°C，也会导致光刻胶的厚度发生变化；而硬烘烤时，哪怕只是微小的温度波动，也会让关键尺寸的控制变得无法实现。晶圆一直在移动，炉子则持续运转，因此对温度控制的要求极其严格。 关键在于如何精确控制温度...