在光刻生产线中，如果光敏剂烘烤过程中的温度波动仅为0.5°C，就可能导致线宽超出标准范围，这样的晶圆在检测时会被标记为不合格品。为此，我们为生产用的灯管设计了石英玻璃防护罩，以从源头阻止这种温度波动。 关键点在于材料的选择 我们选用了熔融石英作为材料，因为其在短波和中等波长红外光区域具有稳定的透光...

在24/7的晶圆厂车间，不可能忽视0.5度的偏移。软烘或硬烘温度偏差0.5°C会导致尺寸偏差，影响附着力，造成大量晶圆报废。石英舟加热灯不是附加设备，而是光刻和光阻处理的热锚点。 核心要点 我们基于短波或中波红外设计这些灯，调谐至石英的吸收峰，以便舟和晶圆堆叠直接快速加热。舟体温度均匀性维持在...