Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, wissen Sie, wie wichtig Sauberkeit ist. Schon ein winziger Staubkorn an der falschen Stelle kann dazu führen, dass ganze Chargen an Halbleitern unbrauchbar werden. Das Problem ist, dass die meisten Heizelemente im Grunde genommen „Staubfabriken“ sind – sie geben bereits bei Erwärmung mikroskopisch kleine Partikel ab.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir auf eine einfache, hochreine Lösung setzten: Quarz-Infrarotlampen sowie Kabel aus Teflon (PTFE).
Warum hochreiner Quarz verwendet wird
Wir verwenden gefügten Quarz für die Lampengehäuse. Warum? Weil er großen thermischen Belastungen standhalten kann, ohne zu beschädigen, und außerdem keine Verunreinigungen in die Luft freisetzt.
Diese Lampen nutzen kurzwelliges Infrarotlicht. Anstatt die Luft um den Wafer zu erwärmen – was wiederum zu störenden Konvektionsströmungen führt, die Staub aufwirbeln – geht die Energie direkt in das Substrat. So bleibt alles sauberer.
Warum wir auf Kabel aus PTFE bestehen
Standardmäßige PVC- oder Silikonkabel leiden unter Hitze. Sie verbrennen oder geben flüchtige organische Verbindungen ab, die Ihre Arbeit ruinieren können. Das ist in einer Halbleiterfertigung natürlich nicht akzeptabel. Deshalb verwenden wir Kabel mit PTFE-Beschichtung. Sie sind chemisch inert und können der Hitze standhalten. Sie verwittern nicht und sorgen dafür, dass der Reinraum steril bleibt.
Ein paar Tipps zur Installation
Achten Sie darauf: PTFE ist härter als Silikon. Wenn Sie versuchen, es in eine enge Kurve zu biegen, kann die Isolierschicht beschädigt werden. Lassen Sie den Kabeln etwas Spielraum.
Achten Sie auch auf die Kühlung. Die Infrarotstrahlung ist sehr intensiv. Auch wenn der Quarz selbst rein ist, kann die Wärmeintensität problematisch sein. Stellen Sie sicher, dass die Kühlkomponenten richtig dimensioniert sind. Wenn sie zu klein sind, können die Befestigungsbrackets beschädigt werden. Schlimmer noch: Die Lampen können früher kaputtgehen, weil die Dichtungen an den Enden der Kabel der Hitze nicht standhalten.