Hören Sie auf, Ihre Maschine zu erhitzen – heizen Sie stattdessen die Wafer direkt.
Wenn Sie schon einmal mit Halbleiterwafern gearbeitet haben, wissen Sie, wie schwierig das ist. Man braucht schließlich eine heiße Waferoberfläche – doch man möchte nicht, dass der Rest der teuren Ausrüstung zu einer Art „Raumheizer“ wird.
Die meisten Standard-Strahler geben ihre Wärme überallhin ab. Dadurch werden die Innenwände zur Wärmeableitung, es wird viel Energie verschwendet – und am schlimmsten: Die Gehäuse bleiben so heiß, dass sie den Bediener verbrühen können. Das ist wirklich chaotisch.
So lösen wir das Problem.
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotlampen. Anstatt die Luft zu erwärmen – was langsam und ineffizient ist – strahlen diese Lampen die Energie direkt auf die Oberfläche der Wafer ab. Wir verwenden spezielle Reflektoren sowie Quarzkörbe, um die Energie gezielt zu lenken. Im Grunde genommen gelangt die Wärme genau dorthin, wo sie hingehört. Die Wafer erhalten die Energie – während das Gehäuse unberührt bleibt.
Warum das für Ihren Arbeitsablauf wichtig ist
Bei der Auswahl dieser Lampen achten wir darauf, dass eine hohe Wärmestärke in einem kleinen Raum erzeugt werden kann. Da Kurzwellen-Infrarotstrahlung sehr schnell in das Material eindringt, sinken die Aufwärmzeiten drastisch. Zudem wird durch die gezielte Energieabgabe die störende Umgebungswärme vermieden. Es fühlt sich einfach kühler an.
Der Haken (denn es gibt immer einen)
Es handelt sich dabei nicht um Magie – es ist Physik. Da die Energie so konzentriert ist, entsteht eine intensive, lokalisierte Wärme. Man muss darauf achten, dass das Substrat diesen schnellen Temperaturanstieg verkraften kann – sonst entstehen Risse oder Verformungen. Außerdem müssen die PID-Controller so eingestellt sein, dass sie auf die schnelle Reaktion der Lampen reagieren können. Man muss also präzise vorgehen.
Wir haben diese Systeme so konzipiert, dass sie als einfache Ersatzlösungen für die alten, unpraktischen Heizsysteme dienen können. Dadurch müssen die Kühlsysteme in Ihrer Anlage nicht mehr so stark arbeiten. Und Ihr Wartungsteam wird Ihnen dankbar sein, dass Sie die Maschine nicht zu einer Gefahr machen.