Verhindern Sie, dass Ihre Heizkammer zu einem Ofen wird
Wenn Sie bereits einmal eine Halbleiterheizkammer gebaut haben, wissen Sie, wie schwierig das ist. Es geht dabei nicht darum, den Wafer auf die richtige Temperatur zu bringen – das ist der einfachere Teil. Das eigentliche Problem entsteht, wenn die Wände der Anlage so heiß werden, dass sie Menschen verletzen könnten.
Die meisten Standardheizelemente strahlen Energie in alle Richtungen ab. Das ist problematisch. Die Innenwände der teuren Geräte nehmen all diese überschüssige Energie auf – plötzlich stellt die Anlage eine Sicherheitsgefahr dar.
Wir lösen dieses Problem, indem wir direktionale Infrarotlampen verwenden.
Die Wärme genau dorthin leiten, wo sie benötigt wird
Stellen Sie sich das wie den Unterschied zwischen einer Glühbirne und einer Taschenlampe vor: Eine Glühbirne beleuchtet den ganzen Raum, während eine Taschenlampe das Licht genau dorthin lenkt, wo es benötigt wird.
Unsere Infrarotlampen funktionieren genauso. Sie konzentrieren die Strahlung direkt auf das Zielsubstrat. Da der Lichtstrahl schmal ist, erreichen nur sehr wenig Energie die Wände der Anlage.
Das Ergebnis? Der Wafer erhält die benötigte Wärme, während die Außenflächen der Anlage weiterhin kühl bleiben.
Die Vor- und Nachteile – und wie man damit umgeht
Einer der Vorteile dieser Methode ist, dass man den Platzbedarf verringern kann. Man muss nicht jede Innenseite mit dicken Isolierschichten überziehen, denn die Wände werden nicht durch überschüssige Wärme belastet.
Aber es gibt auch einen Haken: Die Infrarotheizung erfolgt fast sofort. Deshalb muss der PID-Zyklus perfekt funktionieren. Wir verwenden normalerweise Hochpräzisions-Thermoelemente, damit die gewünschte Temperatur nicht überschritten wird. Wenn der Sensor auch nur um ein paar Millimeter falsch liegt, können Temperaturschwankungen entstehen, die den Wafer beschädigen können. Es handelt sich dabei um eine enge Grenze – aber es lohnt sich.
Ihre Ausrüstung schützen
Durch die Senkung der Wandtemperatur wird nicht nur die Sicherheit der Mitarbeiter gewährleistet – auch die Hardware wird geschont. Wenn es im Inneren der Anlage zu heiß wird, beginnen die elektronischen Komponenten zu versagen und die Dichtungen trocknen aus und reißen. Durch die Konzentration der Wärme wird die Lebensdauer der gesamten Anlage verlängert.
Ein Hinweis: Wenn man einen Lichtstrahl konzentriert, entsteht am Brennpunkt ein sehr intensiver Hotspot. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlventilatoren und Abgasanlagen stark genug sind, um diesen Bereich zu bewältigen – sonst können lokale Überhitzungsprobleme auftreten.