Verhindern, dass alles in die Luft fliegt: Sicheres Trocknen von MEMS-Wafern
Die Realität ist folgende: Das Trocknen von MEMS-Sensorwafern nach einer chemischen Reinigung ist im Grunde genommen wie das Spielen mit Feuer. Es handelt sich dabei um Heizelemente, die direkt neben Lösungsmitteldämpfen 위치ieren – und diese Dämpfe sind, um es drastisch auszudrücken, explosionsgefährlich. Man kann einfach keine gewöhnliche Infrarotlampe in diese Umgebung bringen und auf das Beste hoffen.
Deshalb konzentrieren wir uns auf die Kapselung der Lampen. Im Prinzip bauen wir eine Art „Festung“ um die Lampe herum, damit keine Katastrophe entsteht.
Verhinderung von Lecks
Um diese schädlichen Gase von den elektrischen Kontakten fernzuhalten, stecken wir die Infrarotlampe in einen Gehäuseauskleidung aus speziellem Glas oder chemikalienbeständigem Quarz. Das ist eine einfache physische Schutzmaßnahme. Anschließend verschließen wir die Enden mit keramischen oder hochtemperaturbeständigen Epoxidschlämmen. Warum all diese Mühen? Weil, wenn die Abdichtung versagt, die Dämpfe die leitenden Kontakte erreichen können. Ein einziger Funke reicht aus, um große Probleme zu verursachen. Wir verbringen viel Zeit damit, sicherzustellen, dass alle Leckstellen geschlossen bleiben.
Hitze, Funken und Verkabelung
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarottechnologie – denn sie ist effektiver. Die Hitze wird direkt auf die Oberfläche des Wafer übertragen, anstatt die Umgebungsluft zu erhitzen. Dadurch bleibt die Umgebungstemperatur weit unter dem Flammpunkt der Reinigungsmittel.
Außerdem kümmern wir uns sorgfältig um die Verkabelung. Wir verwenden PTFE- oder PFA-Hüllen. Standard-PVC würde einfach schmelzen oder abgebaut werden, wodurch die Drähte ungeschützt blieben. Das ist ein Risiko, das man unbedingt vermeiden sollte.
Ein kleiner Tipp: Stellen Sie sicher, dass Ihr Lüftungssystem richtig funktioniert. Selbst bei der besten Kapselung stellen stehende Lösungsmittelblasen ein großes Risiko dar. Achten Sie darauf, dass die Luft zirkuliert.
Sicherer Betrieb
Der Vorteil dieser Kapselung besteht darin, dass sie den Glühfaden vor chemischer Korrosion schützt. Dadurch halten die Lampen länger. Wir verwenden außerdem verstärkte Stecker – schließlich neigen die Waferntransportsysteme dazu, zu vibrieren. Wir wollen also nicht, dass die Stecker locker werden.
Diese Stecker sind so konzipiert, dass sie einfach ausgetauscht werden können. Doch es gibt einen Haken: Jedes Mal, wenn man eine Lampe austauscht, muss die Integrität der Abdichtung überprüft werden. Wenn es Risse in der Hülle gibt, ist die Sicherheit nicht mehr gewährleistet.
Wir müssen außerdem auf die Leistung der Lampen achten. Hohe Hitzedichten beschleunigen zwar den Trocknungsprozess – was gut für die Produktivität ist – doch sie belasten die Abdichtungen zusätzlich. Wir passen die Leistung so an, dass die Abdichtungen nicht mit der Zeit beschädigt werden. Es geht darum, den richtigen Balancepunkt zwischen Geschwindigkeit und Sicherheit zu finden.