Hören Sie auf, Energie an die Wände der Kammer zu verschwenden!
Wenn Sie Siliziumwafer erhitzen, wissen Sie, dass jeder verschwendete Watt im Grunde genommen nur Geldverschwendung bedeutet.
Herkömmliche Quarzlampen sind etwas unpraktisch – sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab. Das bedeutet, dass ein großer Teil der teuren Energie dazu verwendet wird, die Wände der Kammer zu erwärmen, anstatt tatsächlich auf den Substrat zu wirken. Das ist ineffizient.
Deshalb verwenden wir doppelte Rohre mit Goldbeschichtung.
Die Magie der Goldbeschichtung
Wir legen eine dünne Schicht Gold auf die Rückseite des Quarzes. Warum Gold? Weil Gold im Umgang mit Infrarotlicht einfach besser ist als Silber oder Aluminium. Man kann es sich wie einen thermischen Spiegel vorstellen: Anstelle dass die Wärme in alle Richtungen abgegeben wird, wird sie durch das Gold nach vorne gelenkt. Dadurch entsteht ein konzentrierter Wärmestrahl, der direkt auf den Wafer trifft – und das ohne dass man die Spannung erhöhen muss. Das ist einfach intelligente Physik.
Doppelt so viele Rohre – doppelt so viel Leistung
Durch die Verwendung von doppelten Rohren kann man in demselben kleinen Raum eine deutlich höhere Leistung erzielen. Das Ergebnis ist ein viel intensiveres Wärmeprofil. Wir nutzen diese Lampen normalerweise in Hochspannungsumgebungen, damit die Ströme nicht außer Kontrolle geraten. Achten Sie jedoch darauf, dass Ihre Stromversorgung die anfänglichen Spitzenströme verkraften kann.
Individuelle Anpassung
Das Beste daran ist, dass diese Lampen als Ersatz für die vorhandenen IR-Lampen geeignet sind. Sie passen perfekt in die vorhandenen Anschlüsse. Es ist also nicht notwendig, die gesamte Anlage neu aufzubauen.
Aber es gibt einen Haken: Da die Goldbeschichtung die Energie so gut nach vorne leitet, bleibt die „kalte“ Seite der Lampe kalt – doch der Wafer wird stark belastet. Sie sollten daher Zeit investieren, um die PID-Controller anzupassen. Andernfalls könnten Sie die gewünschte Temperatur überschreiten. Überprüfen Sie außerdem Ihre Kühlventilatoren – falls sie nicht für solche Intensitäten ausgelegt sind, könnten Ihre Geräte beschädigt werden. Ein wenig Kalibrierung hilft dabei sehr.