Hören Sie auf, Zeit mit der Erwärmung der Luft zu verschwenden – Warum IR-Lampen sinnvoll sind
Wenn Sie in Ihrem Reinraum immer noch auf eine konvektive Luftzufuhr setzen, verbringen Sie im Grunde die Hälfte Ihres Tages damit, zu warten. Man heizt die Luft auf – in der Hoffnung, dass diese anschließend auch die jeweiligen Bauteile erwärmt. Doch Luft ist bei der Übertragung von Wärme eher unzuverlässig. Im Rahmen der tiefen Halbleiterbearbeitung führt das zu erheblichen Verzögerungen. Man muss stundenlang darauf warten, bis die gesamte Kammer die richtige Temperatur erreicht hat. Das ist wirklich frustrierend.
Hier kommt das Infrarot ins Spiel.
Infrarotstrahlen beeinflussen die Luft nicht. Stattdessen werden elektromagnetische Strahlung genutzt – dadurch wird die Wärme mit der Geschwindigkeit des Lichts übertragen. Die Wärme trifft direkt auf das Substrat und verwandelt sich sofort in thermische Energie. Das ist viel effektiver als eine langsame, ungenaue Erwärmung. Die sogenannte „thermische Trägheit“, die bei konventionellen Öfen für Verzögerungen sorgt, verschwindet. So erreicht man die gewünschte Temperatur in Sekundenschnelle.
Integration in den Arbeitsplatz
Wir haben diese Lampen so gestaltet, dass sie möglichst wenig Platz einnehmen. Da Infrarotstrahlen gerichtet sind, können Sie auf komplexe Belüftungssysteme verzichten. Das ist ein großer Vorteil für die Qualität Ihres Reinraums – schließlich werden keine Staubpartikel in der Luft verteilt. Verbinden Sie die Lampen einfach mit einem PID-Controller – dann haben Sie maximale Präzision.
Aber es gibt einen Haken…
Infrarotstrahlen sind sehr intensiv. Wenn Sie mit dünnen Materialien oder Bauteilen mit ungleichmäßiger Dicke arbeiten, kann es zu Hotspots kommen. Sie müssen daher vorsichtig mit der Entfernung sowie der Leistungsintensität umgehen – sonst verbrennen Sie das Material.
Der eigentliche Vorteil: Höhere Produktivität
Letztendlich geht es darum, wie viel man tatsächlich schaffen kann. Stellen Sie sich vor, Sie könnten einen 10-minütigen Erwärmungsprozess auf 30 Sekunden verkürzen. Dadurch steigt Ihre Stundenauslastung erheblich. Das ist genau das, was viele Unternehmen tun, wenn sie ihre Halbleiterbearbeitung ausweiten möchten.
Sie erhalten somit schnellere Prozesse und mehr Arbeitsfläche. Ein kleiner Tipp: Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlventilatoren stark genug sind, um die durch die Lampen abgestrahlte Wärme zu bewältigen.