دیگر اجازه ندهید توان انرژی در دیوارههای محفظه هدر برود!
اگر در حال گرم کردن ویفرهای سیلیکونی هستید، میدانید که هر وات انرژی اضافی که هدر میرود، در واقع به معنای هدر رفتن پول است.
لامپهای کوارتزی استاندارد کمی ناکارآمد هستند؛ زیرا گرما را در تمام جهات پخش میکنند. بنابراین، بخش زیادی از انرژی گرانقیمت شما صرف گرم کردن دیوارههای محفظه میشود، نه اینکه به خود ویفر برسد. این روش بسیار ناکارآمد است.
به همین دلیل، از لولههای دوگانه پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم.
جادوی پوشش طلا
ما یک لایه نازک از طلا روی سطح پشتی کوارتز قرار میدهیم. چرا طلا؟ چون در مورد نور مادون قرمز، طلا بهتر از نقره یا آلومینیوم عمل میکند.
میتوان آن را مانند یک آینه حرارتی در نظر گرفت؛ گرما به جای پخش شدن در تمام جهات، به سمت جلو هدایت میشود. در نتیجه، پرتو گرمایی متمرکزی به ویفر برخورد میکند، و شما میتوانید بدون نیاز به افزایش جریان، این کار را انجام دهید. این روش از نظر فیزیکی بسیار هوشمندانه است.
دو برابر توان، دو برابر اثربخشی
بخش “لولههای دوگانه”، همان بخشی است که باعث افزایش اثربخشی میشود. با دوبرابر کردن سطح رشتههای الکتریکی در یک فضای کوچک، میتوانیم توان بیشتری را در لامپی کوچکتر جای دهیم.
نتیجه؟ پروفایل حرارتی بسیار بهتری. معمولاً این لامپها را در محیطهای با ولتاژ بالا استفاده میکنیم تا جریان الکتریکی از کنترل خارج نشود؛ اما حتماً مطمئن شوید که منابع تغذیه شما میتوانند جریانهای اولیه را تحمل کنند.
نحوه استفاده از آنها در سیستم شما
خوبی این لامپها این است که میتوان آنها را به جای لامپهای قدیمی استفاده کرد؛ آنها به راحتی در سوکتهای موجود قرار میگیرند. نیازی به بازسازی کل سیستم شما نیست.
اما مشکل اینجاست که به دلیل اینکه پوشش طلا موجب هدایت انرژی به سمت جلو میشود، سمت “سرد” لامپ سرد باقی میماند؛ اما ویفر تحت فشار زیادی قرار میگیرد.
باید کمی وقت صرف تنظیم کنترلکنندههای PID کنید؛ در غیر این صورت، احتمالاً دمای ویفر از حد مورد نظر بالاتر خواهد رفت. همچنین، به فنهای خنککننده نیز توجه کنید؛ اگر آنها برای این میزان توان مناسب نباشند، ممکن است ویفر دچار تغییر شکل شود.
کمی تنظیم، تأثیر زیادی دارد.