دیگر نیازی نیست منتظر هوای گرم باشید؛ بهتر است از لامپهای مادونقرمز بدون اسید ازون استفاده کنیم.
برای مدت طولانی، روش استفاده از هوای گرم در فرآیندهای تولید نیمههادیها رایج بود. در این روش، حجم زیادی هوا گرم میشد و سپس به سمت ویفرها هدایت میشد تا انرژی لازم را به آنها منتقل کند.
مشکل این روش، کندی عملکرد آن است؛ همچنین، وجود تأخیرات حرارتی نیز باعث کاهش کارایی فرآیند میشود.
ما روش بهتری پیدا کردهایم؛ از لامپهای مادونقرمز بدون اسید ازون استفاده میکنیم تا اصلاً از هوا استفاده نشود.
انرژی مستقیم، بدون واسطه.
تصور کنید که به جای انتظار برای وزش هوای گرم توسط فن، لامپهای مادونقرمز انرژی الکترومغناطیسی را مستقیماً به سمت سطح مورد نظر ارسال میکنند. این کار بسیار سریع انجام میشود.
زمان لازم برای گرم شدن سطح، از دقایق به ثوانی کاهش مییابد. وقتی که ۱۰٬۰۰۰ ویفر را پردازش میکنید، کاهش ۳۰ ثانیهای در زمان پردازش، یک پیروزی کوچک نیست؛ بلکه یک بهبود چشمگیر در بازدهی کاری شما است.
اما در مورد اسید ازون چه؟
مشکل لامپهای مادونقرمز معمولی این است که به دلیل تابشUV، اسید ازون تولید میکنند. در اتاقهای تمیز، اسید ازون مشکلات زیادی ایجاد میکند؛ زیرا سطوح را تخریب کرده و لایههای حساس را نابود میکند.
برای حل این مشکل، لامپهای ما از فیلترهای کوارتزی و شیمی خاصی برای جلوگیری از تابشUV استفاده میکنند. شما انرژی گرمایشی لازم را دریافت میکنید، اما هیچ مشکل شیمیاییای وجود ندارد.
تغییرات لازم برای استفاده از این لامپها
نمیتوانم بگویم که این لامپها به صورت «فوری» قابل استفاده هستند؛ زیرا چنین نیست.
لامپهای مادونقرمز دارای جهتگیری خاصی هستند؛ اگر قطعات شما شکل عجیبی داشته باشند یا فضاهای عمیقی داشته باشند، نقاطی وجود خواهد داشت که نور نمیتواند به آنجا برسد. بنابراین، باید زمانی را صرف طراحی سیستم لامپها کنید تا همه نقاط به طور یکنواخت گرم شوند.
همچنین، باید توجه کنید که این لامپها مقدار زیادی انرژی مصرف میکنند؛ بنابراین باید اطمینان حاصل کنید که سیستم الکتریکی شما میتواند این میزان انرژی را تحمل کند. در غیر این صورت، مجبور خواهید بود وقت زیادی را صرف تنظیم سیستم الکتریکی کنید.
با این حال، اگر به دنبال دقت و سرعت بالا هستید، این روش بهترین گزینه است. شما گرمایش کمتری خواهید داشت و زمان پردازش نیز بسیار کمتر خواهد بود. این روش واقعاً منطقی است.