دیگر اجازه ندهید که خرابی لامپها، محمولههای ویفرهای شما را نابود کند!
تصور کنید که در حال استفاده از لامپهای IR برای فرآیندهای پختن ویفرها هستید؛ ناگهان لوله کوارتز لامپ میشکند. این موضوع فقط باعث توقف کار نمیشود؛ بلکه تکههای شیشهای و سیمهای تنگستنی نیز روی ویفرها میافتند. در عرض یک لحظه، کل محموله ویفرهای شما از بین میرود.
این وضعیت واقعاً افراطی است… اما کاملاً قابل جلوگیری است.
ما برای جلوگیری از این مشکل، از یک ساختار بازتابنده استفاده میکنیم؛ میتوان آن را به عنوان یک سپر ایمنی در نظر گرفت که بین لامپ و ویفرها قرار میگیرد.
نحوه کارکرد آن:
بیشتر مردم فکر میکنند که بازتابندهها فقط برای بازتاب تشعشعات IR به سمت سطح ویفر استفاده میشوند؛ البته اینطور است، اما ما این ساختار را به گونهای طراحی کردهایم که دور لامپ را بپوشاند.
اگر لوله لامپ بشکند، بازتابنده تکههای شیشهای را جذب میکند؛ در نتیجه این تکهها وارد محفظه فرآیند نمیشوند. در نتیجه، دیگر نیازی به تعویض لامپ نیست؛ هیچ خسارتی به ویفرها وارد نمیشود.
گرمای بیشتر، فشار کمتر:
ما از آلومینیوم با خلوص بالا و لایههای ویژه برای بازتاب تشعشعات IR استفاده میکنیم.
نکته جالب اینجاست که این روش باعث افزایش تراکم گرما در سطح ویفر میشود؛ در نتیجه میتوانید توان لامپ را کم کنید و باز هم همان نتیجه را به دست آورید. وقتی لامپ نیازی به کار کردن در دمای بالا نداشته باشد، فشار بر روی کوارتز کاهش مییابد؛ در نتیجه احتمال شکستن لامپ کاهش مییابد.
معایب این روش:
هیچ چیز کامل نیست؛ اضافه کردن یک لایه فیزیکی بین منبع نور و ویفر، الگوی تشعشعات را کمی تغییر میدهد.
شما باید کمی وقت صرف تنظیم فاصله کانونی لامپ کنید تا گرمای تولید شده در سراسر ویفر یکنواخت باشد. همچنین، باید مراقب فنهای خنککننده نیز باشید؛ اگر اندازه فنها مناسب نباشد، گرما در داخل ساختار لامپ باقی میماند و این امر باعث کاهش طول عمر لامپ میشود.
اما وقتی که همه چیز تنظیم شد، کار بسیار آسان خواهد بود.
ما این ساختارها را برای تولید ۲۴ ساعته طراحی کردهایم؛ شما فقط لامپها را به سیستم متصل کنید، کنترلکنندههای PID را تنظیم کنید، و اجازه دهید بازتابنده مشکلات را حل کند. این روش، خرابی لامپ را به یک کار ساده تبدیل میکند.