लैंपों की खराबी के कारण अपने वेफरों को नष्ट होने से बचाएं।
यह तो एक भयावह स्थिति है – आप उच्च लोड पर IR किरणों का उपयोग कर रहे हैं, लेकिन क्वार्ट्ज ट्यूब फट जाती है। यह सिर्फ थोड़ा समय का नुकसान ही नहीं है… काँच के टुकड़े एवं टंगस्टन फिलामेंट आपके वेफरों पर गिर जाते हैं… ऐसी स्थिति में आपका पूरा बैच नष्ट हो जाता है।
लेकिन यह स्थिति पूरी तरह से टाली जा सकती है।
हम इस समस्या का समाधान एक विशेष रिफ्लेक्टर के उपयोग से करते हैं… इसे एक “भौतिक सुरक्षा कवच” के रूप में ही समझें… यह लैंप एवं वेफरों के बीच में ही स्थित होता है।
यह कैसे काम करता है?
ज्यादातर लोगों का मानना है कि रिफ्लेक्टरों का काम केवल IR किरणों को वापस भेजना ही है… लेकिन हमने इस रिफ्लेक्टर को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि यह लैंप को पूरी तरह से घेर ले।
यदि कोई ट्यूब फट जाती है, तो रिफ्लेक्टर उसके टुकड़ों को पकड़ लेता है… इससे वे टुकड़े प्रोसेस चैंबर में नहीं जा पाते… ऐसी स्थिति में आपका बैच नष्ट नहीं होता।
बेहतर गर्मी, कम तनाव
हम उच्च शुद्धता वाले एल्यूमीनियम का उपयोग करते हैं… इससे वेफर की सतह पर गर्मी अधिक केंद्रित हो जाती है… इससे आप कम वॉटेज का ही उपयोग कर सकते हैं, फिर भी वही परिणाम प्राप्त होता है… जब लैंप को इतनी अधिक गर्मी की आवश्यकता नहीं होती, तो क्वार्ट्ज ट्यूब पर भी कम दबाव पड़ता है… इससे लैंप फटने की संभावना भी कम हो जाती है।
वास्तविक चुनौतियाँ
देखिए, कुछ भी परफेक्ट नहीं है… प्रकाश स्रोत एवं वेफरों के बीच में एक भौतिक परत होने से विकिरण का पैटर्न थोड़ा बदल जाता है… आपको अपने फोकल दूरी को समायोजित करने की आवश्यकता है… ताकि पूरे वेफर पर समान तरह से गर्मी पहुँच सके… इसके अलावा, अपने कूलिंग फैनों पर भी ध्यान दें… यदि वे रिफ्लेक्टर के आकार के अनुरूप न हों, तो गर्मी रिफ्लेक्टर के अंदर ही रह जाएगी… जिससे लैंप की उम्र कम हो जाएगी…
लेकिन जब सब कुछ ठीक हो जाता है, तो यह बहुत ही आसान हो जाता है…
हम ऐसे उपकरणों को 24/7 उत्पादन हेतु बनाते हैं… आप इन्हें जोड़ दें, PID कंट्रोलरों को सेट कर दें… और रिफ्लेक्टर ही जोखिमों को संभाल लेगा… इससे भयावह स्थितियाँ भी सरल हो जाती हैं।