時間の無駄をやめましょう：ウェーハの加熱において、なぜIR加熱が強制送風より優れているのか もし今も半導体の深層加工に強制送風を使っているのであれば、実際には空気が仕事をこなすのを待っているだけです。 考えてみてください。強制送風の場合、まず空気を温めなければならず、その後でその熱をウェーハに伝え...

なぜ赤外線ヒーターが故障するのか（そして、それを防ぐ方法） 工場での裏話ですが、ほとんどの赤外線ヒーターは、発熱体が壊れることで故障するわけではありません。実際には、接続部が原因で故障してしまうのです。 ヒーターを限界まで使うと、その配線部分が大きな負荷を受けます。もし部品の質が悪ければ、その接続...