ウェーハを加熱する際に2℃もの温度変動があると、それは単なる誤差というだけではなく、製品の不良原因となります。フォトレジストの感度や線幅の精度、そして欠陥の発生率は、再現性があり均一な加熱が行われているかどうかに依存します。温度プロファイルにばらつきがあると、汚れや付着問題、または後工程で初めて気...

パワーハウス ハロゲン赤外線ヒーター：仕事のために設計された一台 この赤外線ヒーターを設計した理由はただ一つ、狭い工業スペースで作業するときに、迅速かつ集中した強力な熱を提供するためです。短波ハロゲンランプのように、エネルギーを必要な場所に直接届け、無駄なく効率的に使えます。 なぜ400V？スマー...