なぜ金メッキ処理を施した赤外線ランプがウェーハの加工にとって重要なのか 半導体ウェーハの加工を行う際、温度は重要な要素の一つに過ぎません。本当に重要なのはフラックス密度です。つまり、実際にウェーハの表面にどれだけの熱が届くか、そしてどれだけの熱が機械内部に消えてしまうかということです。 そこで役立...

ファブフロアでは、ベーク温度が0.3℃変動するだけで、重要寸法の制御が狂い、多くの歩留まりが廃棄となる。ソフトベークおよびハードベークを運用する際には、希望ではなく再現性が求められる。そのため、プロセスの実情に合わせて金反射板を搭載した赤外線バルブを設計した。 内部構造のポイント 光源は石英内蔵の...