MEMSセンサウェーハ乾燥ヒーター

爆発を防ぐために：MEMSウェーハを安全に乾燥させる方法 現実を言えば、化学的な洗浄処理の後にMEMSセンサーのウェーハを乾燥させることは、まるで火遊びのようなものです。加熱要素が、率直に言って爆発性の高い溶剤の蒸気のすぐそばにあるのです。普通の赤外線ランプをその環境に置いておくだけでは、うまくい...