なぜ金メッキ処理を施した赤外線ランプがウェーハの加工にとって重要なのか 半導体ウェーハの加工を行う際、温度は重要な要素の一つに過ぎません。本当に重要なのはフラックス密度です。つまり、実際にウェーハの表面にどれだけの熱が届くか、そしてどれだけの熱が機械内部に消えてしまうかということです。 そこで役立つのが金メッキ処理を施した赤外線ランプです。このランプにより、エネルギーが筐体の中に漏れるのを防ぎ、必要な場所、つまりウェーハの表面に直接エネルギーを届けることができます。 金の効果 通常の石英ランプを考えてみてください。これは360度全方位に熱を放出します。ウェーハ加工機では、そのためにエネルギーの半分が空気や壁に消費されてしまいます。 これを解決するために、石英の裏側に薄い金の層を塗ります。これにより、赤外線の98％以上が前方に反射されます。 その結果、同じ電力であっても、ウェーハに与えられる熱量が倍増します。簡単な話です。 注意点：熱に関して ただし、高ワット数のランプは非常に熱くなります。 金がエネルギーを集中させるため、石英管自体も大きな負担を受けます。冷却システムが十分でない場合、この追加の熱が問題になる可能性があります。空気の流れが追いつかず、フィラメントが壊れたり、マウントが変形したりすることもあります。 これらのランプに交換する前に、必ず空気の流れを確認してください。そうすれば、後で面倒な問題を避けることができます。 より高い効果を得るために これらのランプは主に硬化処理や急速加熱処理に利用されます。目的は、不必要なドーパントの拡散を防ぐために、迅速に温度を上げることです。 金の反射材を使えば、目標とする温度に到達するのがずっと早くなります。また、出力を維持しつつ、加熱装置のサイズを小さくすることも可能です。 電圧とワット数が現在の電源と一致していれば、これらのランプはそのまま交換可能です。これは、熱処理用のチャンバー全体を分解して再構築する必要なく、処理能力を向上させる素晴らしい方法です。