高度なウエハ製造工場向けのゾーン別加熱システム

リソグラフィーの工程において、温度は単なるパラメーターではありません。それ自体が工程そのものなのです。ソフトベイク時に2°Cの変動があるだけで、フォトレジストの厚さが変わってしまいます。また、ハードベイク時にわずかでも温度が変動すると、重要な寸法の制御が崩れてしまいます。ウェーハは絶えず移動してお...