洗浄用耐水性赤外線ランプ

機械を加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう ほとんどの赤外線ランプは、熱をあらゆる方向に放出します。つまり、360度全方位に熱が飛び散るのです。狭い半導体製造装置の中で作業していると、これは大変な問題です。 結果として、ウェーハではなく、機械の内壁を加熱するために大量のエネルギーが無駄に消...