非接触型ウェーハ乾燥ランプ

リソグラフィーの工程においては、たった一歩間違えただけで、製品の品質が大きく左右されることがあります。清掃後に残った水分や水跡は、見た目上の問題だけでなく、粒子の発生原因となり、フォトレジストの密着性を悪化させます。従来の接触式乾燥方法では、傷や粒子の移動のリスクがあります。その結果、廃棄されるウ...