チャンバーの壁面で無駄に電力を消費するのはやめましょう。 シリコンウェーハを加熱する際、無駄に消費される1ワット毎が、実質的にはお金の無駄になります。 一般的な石英ランプは使い勝手が悪く、熱があらゆる方向に放出されるため、高価な電力の多くがウェーハ自体を温めるのではなく、チャンバーの壁面を温めるだ...

なぜ金メッキ処理を施した赤外線ランプがウェーハの加工にとって重要なのか 半導体ウェーハの加工を行う際、温度は重要な要素の一つに過ぎません。本当に重要なのはフラックス密度です。つまり、実際にウェーハの表面にどれだけの熱が届くか、そしてどれだけの熱が機械内部に消えてしまうかということです。 そこで役立...