오존이 없는 적외선 램프

더 이상 무의미한 기다림을 줄이고, 오존이 없는 적외선을 활용합시다. 오랫동안 반도체 처리 과정에서는 강제로 공기를 순환시키는 방식이 사용되어 왔습니다. 많은 양의 공기를 가열한 다음 그 공기를 웨이퍼 위에 불어넣어 에너지를 전달하려는 것이죠. 하지만 문제는 속도가...