반제품 처리 과정에서 에너지를 낭비하는 것을 그만두자. 솔직히 말해서, 실리콘 웨이퍼를 가열하기 위해 방 안에 뜨거운 공기를 순환시키는 방식은 너무 느립니다. 사실상 공기가 열을 전달하는 동안 기다려야 하는 셈이죠. 대량 생산 환경에서는 이러한 지연 시간이 치명적입니...

폭발을 막는 방법: MEMS 웨이퍼를 안전하게 건조시키는 방법 현실적으로 말하자면, 화학적 세척 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조하는 것은 마치 불장난과 같습니다. 가열 요소가 용매 증기와 바로 인접해 있으며, 그 용매 증기는 말 그대로 폭발성이 있습니다. 그러니 일반...

왜 센서 포장에 있어서 전통적인 대류식 오븐 대신 적외선 가열 방식을 사용하는가? 현재 반도체 제조업계에서는 모두 탄소 중립에 대해 이야기하고 있습니다. 하지만 솔직히 말해서, 기존의 작업 방식을 바꾸지 않고는 실제로 그것을 실현하기는 어렵습니다. 저희에게 있어서 가...

서론 상상해 보세요. 공기 중에 가연성이 있는 청소용 화학물질들이 가득한 생산 현장의 모습을 말입니다. 이런 곳에서는 일반적인 히터를 사용하는 것 자체가 위험할 수 있습니다. 저희는 바로 이러한 문제를 해결하기 위해 적외선 히터를 개발했습니다. 전체 구조가 단단히 밀...

라인 위에서 웨이퍼는 할로겐 램프 아래에 위치하며, 포토레지스트 프로파일을 설정하는 소프트 베이크를 기다린다. 베이크 온도 구간에서 2°C의 변동은 크리티컬 치수를 몇 나노미터 이동시킬 수 있으며, 이로 인해 개발 후에야 확인되는 결함이 트랙을 떠나는 배치에 남게 된...