웨이퍼 장비용 온도 센서

라인 위에서 웨이퍼는 할로겐 램프 아래에 위치하며, 포토레지스트 프로파일을 설정하는 소프트 베이크를 기다린다. 베이크 온도 구간에서 2°C의 변동은 크리티컬 치수를 몇 나노미터 이동시킬 수 있으며, 이로 인해 개발 후에야 확인되는 결함이 트랙을 떠나는 배치에 남게 된...