E빔 레지스트 베이킹 히터

리소그래피 현장에서 e-빔 저항 베이크 중 0.3°C의 드리프트는 제어된 패턴을 선 폭의 혼란으로 바꿀 수 있습니다. 우리는 그 드리프트가 시작되기 전에 멈추도록 설계된 e-빔 저항 베이킹 히터를 만들었습니다. 왜냐하면 수율은 의견이 아닌 나노미터로 측정되기 때문입니...