Lamba arızalarının waferlerinizi mahvetmesine izin vermeyin!
İşte kabus gibi bir durum: Yüksek güçte IR ışını kullanıyorsunuz ve kuvars tüpü patlıyor. Bu sadece küçük bir kesinti değil; cam parçaları ve tungsten filamentleri doğrudan waferlerinizin üzerine düşüyor. Bir anda tüm üretim süreciniz boşa gidiyor.
Bu durum oldukça kötü… Ama tamamen önlenebilir bir durum.
Bunu önlemek için özel bir yansıtıcı yapı kullanıyoruz. Bunu, lamba ile çalışma alanınız arasında bulunan fiziksel bir koruma kaplaması olarak düşünün.
Nasıl çalışıyor?
Çoğu insan, yansıtıcıların sadece IR ışınlarını tekrar yüzeye yönlendirmek için kullanıldığını sanıyor. Elbette öyle yapıyorlar. Ancak biz bu yapıyı lambanın etrafını saracak şekilde tasarladık. Eğer tüp patlarsa, yansıtıcı parçaları yakalayarak onların işlem odasına karışmasını engeller. Böylece gününüz mahvolmak yerine her şey düzgün bir şekilde devam eder. Ne silika parçaları, ne de bozulan waferler…
Daha iyi ısı, daha az stres
Kısa dalga boylundaki IR ışınlarını yansıtmak için yüksek saflıktaki alüminyum ve özel kaplamalar kullanıyoruz. İlginç olan şu ki, bu sayede wafer yüzeyindeki ısı yoğunluğu artıyor. Isı daha yoğun olduğu için, aynı kurutma sonucunu elde etmek için gereken güç miktarı azalıyor. Lambanın o kadar yüksek sıcaklıkta çalışmasına gerek kalmadığı için kuvars tüpü üzerindeki stres de azalıyor. Bu da lambanın patlama ihtimalini ciddi ölçüde azaltıyor.
Dürüst ticari dezavantajlar
Hiçbir şey mükemmel değildir. Işık kaynağı ile hedef arasına fiziksel bir katman eklemek, açık bir lambaya kıyasla radyasyon desenini biraz değiştirir. Tüm wafer üzerinde eşit ısı dağılımı sağlamak için odak uzaklığını ayarlamak için biraz zaman harcamanız gerekecek. Ayrıca soğutma fanlarına da dikkat edin; eğer bunlar yansıtıcının boyutlarına uygun değilse, ısı yansıtıcı içinde kalabilir ve bu da lambanın ömrünü kısaltır.
Ama her şey ayarlandığında işler çok daha kolay hale gelir. Biz bunları 24/7 üretim için tasarlıyoruz. Lambaları bağlayın, PID kontrol cihazlarını ayarlayın ve riskleri yansıtıcıya bırakın. Böylece felaket haline gelebilecek durumlar, basit bir lamba değişimiyle çözülebilir.