Припиніть дозволяти несправностям ламп знищувати ваші партії ваферів
Ось сценарій кошмару: ви використовуєте лампу для високонавантаженої обробки за допомогою інфрачервоного випромінювання, а раптово кварцова трубка розривається. Це не просто перерва у роботі – уламки скла та вольфрамові нитки потрапляють прямо на вафери. За мить уся партія стає безцінною.
Це жахливо. Але цього можна повністю уникнути.
Ми вирішили цю проблему, додавши спеціальний корпус-відбивач. Уявіть собі це як фізичний захисний елемент, який знаходиться між лампою та об’єктом обробки.
Як це працює
Більшість людей вважають, що відбивачі призначені лише для відбиття інфрачервоного випромінювання назад на матеріал. Це так і є. Але ми розробили цей корпус так, щоб він охоплював всю лампу.
Якщо трубка розривається, відбивач зупиняє уламки. Це запобігає потраплянню частинок у камеру обробки. Замість катастрофи, яка зруйнує вашу роботу, у вас буде просто можливість замінити лампу. Ні жодних уламків скла, ні зіпсованих ваферів.
Краще нагрівання, менше стресу
Ми використовуємо алюміній високої чистоти з особливим покриттям для ефективного відбиття короткохвильового інфрачервоного випромінювання.
Чудово те, що це підвищує щільність тепла на поверхні вафера. Оскільки тепло концентрується, можна зменшити потужність лампи, але результат обробки залишиться таким самим. Коли лампа не потребує такої високої температури, на кварці менше тиску. Це значно зменшує ймовірність його розриву.
Чесні компроміси
Ніщо не є ідеальним. Додавання фізичного шару між джерелом світла та об’єктом обробки трохи змінює характер випромінювання порівняно з лампою без такого корпусу.
Вам доведеться приділити трохи часу на налаштування фокусування, щоб тепло розподілялося рівномірно по всій поверхні вафера. Також потрібно стежити за вентиляторами охолодження. Якщо їх потужність недостатня, тепло може залишатися всередині корпусу, що скоротить термін служби лампи.
Але як тільки все налаштовано правильно? Усе стає просто.
Ми створюємо такі пристрої для 24/7 роботи. Ви просто підключаєте їх, налаштовуєте контролери, а відбивач бере на себе всі ризики. Це перетворює катастрофічну несправність на просту заміну лампи.