半导体烤箱加热元件
在生产线中,霓虹灯并不会出现热漂移问题。但热漂移会悄悄影响线宽控制,降低成品率,让本应稳定的烘烤过程变得不可预测。在光刻和封装过程中,光阻的软烘烤和硬烘烤环节对温度控制要求极为严格。如果加热元件无法正常工作,就会导致CD均匀性下降、表面出现杂质,进而需要重新加工。
在设计方面,我们注重的是精确的温...
用于晶圆炉的SK15红外线灯
在光刻工艺中,哪怕温度波动仅为2摄氏度,都可能影响光刻胶的均匀性,从而导致晶圆需要重新加工。因此,需要确保热量始终维持在规定的范围内,这样才能保证每一批晶圆的质量。SK15红外灯正是为满足这一需求而设计的。
其核心优势在于: SK15采用短波红外光源,能够将能量直接传递到光刻胶和晶圆上。其响应速度...