晶圆除湿加热灯

在光刻过程中，晶圆表面的光阻或天然氧化物中的水分并非什么无关紧要的问题。它会干扰热处理过程，影响曝光剂量，还会导致关键尺寸无法保持稳定。如果加热灯无法维持所需的温度和清洁度，那么这种不稳定性就会一直存在，甚至会影响到晶圆的封装过程。 关键在于什么？ 我们设计的这种用于去除晶圆表面水分的加热灯，采用...