用于冲洗的防水红外灯

停止给机器加热，转而直接加热晶圆 大多数红外灯的发热方式相当混乱——热量会向各个方向散射，基本上是360度全方位发热。在空间狭小的半导体加工设备中，这种情况简直就是一场灾难。结果就是，大量的能量被用来加热机器的内部结构，而非晶圆本身。这样一来，机器的机身会变得过热，难以触摸，而冷却系统也负担过重。...